利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。 

技术指标： 

1、 极限真空度：≤6.67x10^-5Pa； 

2、 系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10^-4Pa；

3、 系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；

4、 圆筒型真空室尺寸约Ф400x300mm；

5、 基片尺寸：可放置Φ100mm基片；

6、 工艺气路：4路；

7、 抽气组件：分子泵系统；

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