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离子泵电源
编号:SN20150731221601599
类别:系列溅射离子泵
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

        离子泵电源

        1、 工业级触摸屏设置

    配备大尺寸触摸屏,内含远程(modbus)通讯系统,使操作更加便捷。

        2、 远端控制模式

    配备远端控制模式,具备I/O、RS-232/RS-485(modbus)两种模式。

        3、 显示功能

    显示分辨率高达10nA,可显示电压、电流、真空度等多种指标。

        4、 可预编程设置

    预设操作程序,菜单读取离子泵参数,对于适用于全系列离子泵。

        5、 烘烤可控模式

    烘烤温度100-300℃连续可调。

        6、高可靠性

    电子元器件全部选用国际知名供应商RS公司,确保离子泵电源的高可靠性。

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