科仪60周年庆
科仪60周年庆
PRODUCT

产品中心

首页 » 产品中心 » LED衬底及窗口片设备 » 导膜法(EFG)宝蓝石晶体生长炉

导模法(EFG)蓝宝石晶体生长炉
编号:SN20150801140121295
类别:导膜法(EFG)宝蓝石晶体生长炉
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    产品优势:
    1、生长速度快,周期短(2-3天/炉),成本低,易于稳定量产。
    2、成熟的设备制造技术和长晶工艺,且长晶工艺灵活,可根据客户需要调整。
    3、可多片同步生长,同质同量,产能大幅提高,晶体坯料易加工,加工成本低,且长晶能耗低,成本可大大降低。
    4、设备及热场稳定性好,重复性高,主要热场部件可使用2年以上。
    5、采用触摸屏,PAC全自动操作系统,人性化的人机对话系统,操作简便。
    6、拥有研发基地,可验证长晶,为客户提供专业的技术培训、设备操作和工艺指导。
    7、规模化的研发基地,可同时进行技术验证与创新,确保产品与技术的成熟性和前沿性,持续将公司最新研发成果快速与客户共享。
    8、配置真空安全保护装置,安全性能更高。
    9、精密稳定的提拉系统,专利设计,控制精度高,传动平稳,抗干扰能力强,更利于晶体生长。


    性能参数

    类型

    导模法

    炉体

    800×1300mm

    冷态空炉极限真空度

    ≤6.6×10-4Pa

    籽晶杆

    炉内行程

    1000mm

    提拉速度连续可调范围/精度

    0.1-50mm/h±1%

    快提拉速度连续升降可调

    100-150mm/min

    真空配置

    分子泵、机械泵、插板阀

    真空测量系统

    测量范围:大气压到1×10-5Pa

    自动控制系统

    PAC全自动运行程序

    循环水用量

    ≥8 m3/h

    额定总功率/频率

    80kw/2500Hz

    设备占地面积(长×宽×高)

    2200×1200×4000mm3 

     

    技术指标:

    项目

    指标

    最大使用功率

    30kw

    长晶周期

    70H

    单炉能耗

    1200kw.H

    晶片规格

    双片,多片(16-24片),异形件(管、棒、拱形件等);也可根据客户要求定制规格。

    投料量

    5-6kg或可连续加料

    取材率

    80%

    成本

    ¥600/kg

     

留言咨询 (* 为必填项目)
* 姓名
* 内容
* 验证码
 
QQ在线咨询
在线QQ客服
3249891528
咨询热线
024-23826855