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DZS-500型电子束蒸发镀膜系统
编号:SN20150801153011145
类别:蒸发镀膜设备
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    设备用途

        用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。

     

    设备组成

        系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

     

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