SKY考夫曼离子源 - 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
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SKY考夫曼离子源
编号:SN20151013130506290
类别:考夫曼离子源
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    SKY考夫曼离子源利用电离后的高能粒子经过加速、中和,形成有能量、方向、具有一定宽度口径、又是中性的离子束。广泛应用于种光学膜、金属膜、半导体膜、绝缘膜、搀杂膜、合金膜、金刚石膜和立方氮化硼超硬涂层等的真空清洗与辅助溅射。

     

    在相同的电压下,SKY考夫曼离子源比采用单孔的离子光栅传输更高的离子束,可以产生具有离子能量的中和离子束,束流的准直性和束流密度均可单独控制,可使用各种独立形式的靶材,离子束附近的中性气体压强在很大范围内可以独立地控制

    考夫曼离子源

    ²  漏率<1×10-8Pa.L/S

    ²  使用温度________℃;

     

    ²  需配SKY3CM6CM型考夫曼离子源电源使用。

     

    SKY3CM6CM型考夫曼离子源电源

    ²  离子源外形尺寸(宽×高×深):482×260×440

    ²  灯丝电压:014VAC,电流08A

    ²  栅极电压:01500VDC,电流060mA

    ²  加速电压:0400VDC,电流:050mA

    ²  放电电压:0100VDC,电流:02A

    ²  中和电压:014VAC,电流:08A

     

    ²  使用温度040℃。

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