²  采用波纹管密封及曲轴传动的方式传递扭矩；

²  安装方式为标准CF法兰，金属密封，密封性能好，密封件对温度要求低，适用于高真空及超高真空系统；

²  电机驱动，转动平稳，速度可调；

²  NDDZCF025A型定位方式为齿轮齿条，精度为     ；

²  NDDZCF025B型定位方式为光耦定位，精度为     ；

²  漏率＜1×10^-8Pa.L/S；

²  使用温度____～____℃。