PRODUCT

产品中心

首页 » 产品中心 » 真空部件 » 系列阴极磁控靶

永磁靶
编号:SN20151013144347112
类别:系列阴极磁控靶
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    ²  由永磁靶头和靶挡板构成,具有表面场强分布均匀的特点;

    ²  安装方式为标准CF16法兰接口,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;

    ²  控制挡板的连接尺寸为φ6mm

    ²  漏率<1×10-8Pa.L/S

     

    ²  使用温度________℃。

    型号

    Dc

    mm

    Dn

    mm

    D

    mm

    L

    mm

    L1

    mm

    W

    mm

    NYCBYC002A

    50.5

    48

    96

    95.5

    80.9

    61

    NYCBYC003A

    76

    71

    110

    96.5

    81.5

    67.5

    NYCBYC004A

    101

    98

    138

    115

    99.5

    81

    NYCBDZ060A

    60.5

    57

    96

    95.5

    81.7

    61

    注:Dc为适用靶材直径,靶材厚度要求35mm

留言咨询 (* 为必填项目)
* 姓名
* 内容
* 验证码
 
QQ在线咨询
在线QQ客服
3249891528
咨询热线
024-23826855