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强磁靶
编号:SN20151013144535430
类别:系列阴极磁控靶
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    ²  由强磁靶头和靶挡板构成,具有表面场强、分布均匀的特点;

    ²  安装方式为标准CF16法兰接口,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;

    ²  控制挡板的连接尺寸为φ6mm

    ²  漏率<1×10-8Pa.L/S

     

    ²  使用温度________℃。

    型号

    Dc

    mm

    Dn

    mm

    D

    mm

    L

    mm

    L1

    mm

    W

    mm

    NQCBYC002A

    50

    47

    92

    94.5

    81.1

    59

    NQCBYC003A

    76

    72

    102

    96.5

    84

    65.5

    NQCBYC004A

    101

    99

    138

    105.5

    90.5

    81

    NQCBDZ060A

    60

    47

    92

    94.5

    80.6

    59

    注:1.NQCBYC004A强磁4英寸靶头挡板固定座与靶头连接方式与永磁靶头一致,使用时参考永磁把头模型;

    2.Dc为适用靶材直径,靶材厚度要求35mm

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