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² 适用于SKY系列圆形磁控靶,与SKY系列靶支座配合使用,调节磁控靶的角度;
² 折弯处采用波纹管动密封结构,具有零泄漏、不接触、无摩擦、无磨损等优点,是最可靠、最安全的动密封方式;
² 安装方式为标准CF16法兰,,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;
² 折弯处可摆动±52°;
² 漏率<1×10-8Pa.L/S;
² 使用温度____~____℃。
型号 |
L (mm) |
L1 (mm) |
NZHGDZ019L350A |
366 |
207 |
NZHGDZ019L450A |
466 |
307 |