²  适用于SKY系列圆形磁控靶，与SKY系列靶支座配合使用，调节磁控靶的角度；

²  折弯处采用波纹管动密封结构，具有零泄漏、不接触、无摩擦、无磨损等优点，是最可靠、最安全的动密封方式；

²  安装方式为标准CF16法兰，，金属密封，密封性能好，密封件对温度要求低，适用于高真空及超高真空系统；

²  折弯处可摆动±52°；

²  漏率＜1×10^-8Pa.L/S；

²  使用温度____～____℃。