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靶支座
编号:SN20151013144930316
类别:系列阴极磁控靶
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    ²  由驱动气缸、升降机构和固定部件构成;

    ²  采用J圈动密封结构,配件损耗低,适用于高真空系统;

    ²  安装方式为标准CF法兰,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低;

    ²  可与SKY系列圆形磁控靶头配合使用,气动驱动磁控靶挡板;

    ²  升降行程60mm,以调节磁控靶位置;

    ²  漏率<1×10-8Pa.L/S

     

    ²  使用温度________℃。

    型号

    D

    mm

    H1

    mm

    H2

    mm

    H3

    mm

    接口法兰

    NBZZCF100L350A

    152

    63

    32.8

    155.5

    CF100

    NBZZCF100L450A

    152

    163

    67.8

    155.5

    CF100

    NBZZCF150L350A

    202

    61

    32.8

    157.5

    CF150

    NBZZCF150L450A

    202

    161

    67.8

    157.5

    CF150

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