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矩形磁控靶
编号:SN20151013145039598
类别:系列阴极磁控靶
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

    ²  提供两种安装方式,分为焊接接口或螺纹联接接口;

    ²  胶圈密封,配件损耗低,拆卸方便,适用于高真空系统;

    ²  适配多种溅射电源,如直流电源,射频电源等;

    ²  漏率<1×10-8Pa.L/S

     

    ²  使用温度:≤______

    注:1.焊接接口形式:接口法兰与真空室焊接使用,接口法兰已预留2mm加工余量,为保证平面度,可在焊接后做相应修整,尺寸按图表中所示。

    型号

    L

    mm

    L1

    mm

    L2

    mm

    靶材尺寸

    mm

    均匀区长度(mm

    NCKBBC450A

    546

    536

    398

    450×75×5

    360

    NCKBBC350A

    446

    436

    298

    350×75×5

    260

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