产品中心
主要用途
广泛应用于各种超高真空系统及IC装备真空系统的气流隔断或接通，可替代同类进口产品。
结构特点
超高真空、超洁净、超长使用寿命；
阀体真空钎焊、真空侧无夹气、冲压阀板；
硫化胶圈、独特的密封结构。
专利号：ZL 2004 2 0120797.0
技术指标
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