主要用途
    广泛应用于各种超高真空系统及IC装备真空系统的气流隔断或接通，可替代同类进口产品。

结构特点
    超高真空、超洁净、超长使用寿命；

    阀体真空钎焊、真空侧无夹气、冲压阀板；

    硫化胶圈、独特的密封结构。

专利号：ZL 2004 2 0120797.0

技术指标