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样品台
编号:SN20170616132406935
类别:系列升降样品台
  • 产品概述
  • 规格参数
  • 服务支持

        沈阳科仪公司生产的样品台采用先进的设计工艺、模块化设计,通过不同的模块组合,可实现大小升降差动、高温抗氧化、自转等功能。SKY样品台适用于各种先进的薄膜生长和沉积技术,包括MBE、PLD、磁控溅射和EB等,也可用于衬底退火、高温除气和材料改性。

     

    产品优势
        1、衬底最高加热温度1100℃;
        2、可接入RF/DC;
        3、持续旋转,转速60转/分;
        4、模块化设计允许多种组合配置选择;
        5、样品尺寸容纳8英寸以下。

     

    结构特点
        1、直流或射频偏压引入模块;
        2、小升降调节模块;
        3、大升降调节模块;
        4、挡板模块;
        5、加热器及热偶模块;
        6、零点定位。

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